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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국산업기술시험원 |
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연구책임자 | 김용남 |
참여연구자 | 신현규 , 신민철 , 전민석 , 이동원 , 최용규 , 장찬익 , 차진선 , 김지원 , 조원종 , 오성영 , 나두진 , 전경아 , 김현식 , 원훈재 , 김상단 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201400001386 |
과제고유번호 | 1425073130 |
사업명 | 연구장비활용기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2014-05-17 |
키워드 | 박막회로저항.신뢰성.TaN.MLC.Probe card. |
개발목표
계획 :
- MLC 표면에 저항 소재 박막을 증착시키고 이를 미세회로 형태로 패터닝하여 200 ohm 이상의 저항을 유지할 수 있는 고신뢰성 박막형 저항체 개발 및 신뢰성 평가
실적 :
- TaN 박막 저항 소재 및 박막 증착 공정 개발
- TaN 박막 저항을 적용하여 패터닝 공정으로 미세회로를 구성한 12인치 크기의 Probe Card 개발
- TaN 박막 저항의 특성/성능 및 내구성/신뢰성 평가
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