초록 ▼

• 본 연구 과제는 단결정 나노 박막, CNT, 그래핀, 양자점 나노와이어 등의 나노소재를 응용하여 기존의 유기물 기반의 유연 소자보다 성능이 탁월하게 뛰어난 고성능 유연 소자를 양산하기 위한 핵심 공정 및 장비 기술의 산학연 공동 연구 기반을 구축하기 위하여 수행되었음.
• 총 연구기간 5년 중에서 제 1차년도 연구 개발이 진행되었으며, 연구 개발 목표는 나노소재응용 고성능 소자 구현 기반 기술 개발임.
• 주요 연구 내용으로, 나노 소재 응용 소자 구현 기반 구축, 유연 소자용 나노소재 공정 해석 및 특성 평가 기반

• 본 연구 과제는 단결정 나노 박막, CNT, 그래핀, 양자점 나노와이어 등의 나노소재를 응용하여 기존의 유기물 기반의 유연 소자보다 성능이 탁월하게 뛰어난 고성능 유연 소자를 양산하기 위한 핵심 공정 및 장비 기술의 산학연 공동 연구 기반을 구축하기 위하여 수행되었음.
• 총 연구기간 5년 중에서 제 1차년도 연구 개발이 진행되었으며, 연구 개발 목표는 나노소재응용 고성능 소자 구현 기반 기술 개발임.
• 주요 연구 내용으로, 나노 소재 응용 소자 구현 기반 구축, 유연 소자용 나노소재 공정 해석 및 특성 평가 기반 구축, 고성능 유연소자용 설계/소재 기반 기술 개발이 수행되었음.
• 나노소재 응용 소자 구현 기반 분야에서는 웨이퍼 화학적 박리 설비, 역학 기반 선택적 전사 기반 기술, 광 기반 선택적 박리/전사 원천 기술 기반을 구축하였음.
• 유연소자용 나노소재 공정 해석 및 특성 평가 기반 분야에서는 EQE/IQE 측정 시스템, 유연소자용 나노소재 트라이볼로지 특성 평가 기반, 유연소자 전기-역학 시험 모듈을 구축하였음.
• 고성능 유연소자용 설계/소재 기반 분야에서는 고효율 압전소재 제조공정 및 특성 측정 기술 개발, 유연 배터리용 소재 선정 및 구조 설계, 유연열전소재 선정 및 기판에 따른 증착 조건 확립, NIR-MIR 영역 적외선 감지 나노물질 및 공정 설계를 수행하였음.

Abstract ▼

Ⅲ. Research output
Fabrication infrastructures were established as lift-off technology based on chemical etching, selective transfer technology based on mechanical contact, and selective lift-off/transfer based on laser. Analysis and characterization infrastructures for flexible devices were esta

Ⅲ. Research output
Fabrication infrastructures were established as lift-off technology based on chemical etching, selective transfer technology based on mechanical contact, and selective lift-off/transfer based on laser. Analysis and characterization infrastructures for flexible devices were established such as EQE/IQE measurement system, tribological evaluation module for nanomaterials, and electro-mechanical testing module. Design and material infrastructures were constructed for flexible piezo-electric devices, flexible batteries, flexible thermo-electric devices, and NIR-MIR sensors based on nanomaterials.

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 보고서 초록 ... 3
• 요약문 ... 4
• Summary ... 5
• 목차 ... 6
• CONTENTS ... 7
• 제1장 연구개발과제의 개요 ... 8
• 1.1 연구개발의 필요성 ... 8
• 1.2 연구개발 목표 및 내용 ... 11
• 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 15
• 2.1 결정질 반도체 나노박막 대면적 박리/전사기술 ... 15
• 2.2 sub 나노미터 두께 나노박막의 자유지지형 전사기술 ... 16
• 2.3 레이저 기반 초고속 나노박막 박리 및 희생층 기술 ... 16
• 2.4 롤 기반 대면적 나노소자 박리/전사 시스템 기술 ... 19
• 2.5 플라즈마기반 점착제어 및 보호막 형성기술 ... 22
• 2.6 고성능 유연소자 Interconnection 기술 ... 24
• 2.7 유연전자소자 해석/설계기술 ... 25
• 2.8 고성능 나노소재 물성평가 기술 ... 29
• 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 32
• 3.1 나노소재 응용소자 구현 기반구축 ... 32
• 3.2 유연소자용 나노소재 공정 해석 및 특성 평가 기반구축 ... 46
• 3.3 플라즈마기반 점착제어 및 보호막 형성 기술개발 ... 49
• 3.4 고성능 유연소자 Interconnection 기술 개발 ... 58
• 3.5 고성능 유연소자용 설계/소재 기반기술 개발 ... 72
• 3.6 롤기반 전사기술을 활용한 고성능 결정 LED기반 유연 디스플레이 개발 ... 94
• 3.7 전사기술 응용 유연 LSI 및 LED용 LLO 기술개발 ... 95
• 3.8 대면적 고성능 태양광 유연전지를 위한 요소기술 개발 ... 96
• 3.9 고성능 유연소자 특성평가 기술개발 ... 97
• 3.10 나노소재 배선의 신축성 설계 및 평가 기술개발 ... 98
• 3.11 고성능 유연소자용 보호막 소재탐색 및 보호막 코팅기술 개발 ... 99
• 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 100
• 4.1 정량적 연구 성과 ... 100
• 4.2 기술적 성과 및 실용화 성과 ... 100
• 4.3 예상효과 및 활용계획 ... 101
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 103
• 부록 : 당해연도 연구성과 세부내역 ... 104
• 끝페이지 ... 109