초록 ▼

ㅇ 본 사업은 나노소재를 응용하여 세계 최고 수준의 고성능 유연소자를 제조하기 위한 핵심 공정 및 장비 기술의 산학연 공동 연구 기반 구축하는 것을 목표로하여 2013년부터 5년간 수행되었음.
ㅇ 나노소재의 의미는, 단결정 나노박막, CNT, 그래핀, 양자점, 나노와이어 등과 같이 기존의 유기물 소재보다 매우 우수한 기능을 지니는 나노크기의 소재임.
ㅇ 고성능의 의미는, 기존의 유기물 기반 유연소자보다 우수한 성능을 의미하며, 전하이동도(소자속도) 100배 이상, 메모리 집적도 100배 이상, 유연 태양전지 효율 20 %

ㅇ 본 사업은 나노소재를 응용하여 세계 최고 수준의 고성능 유연소자를 제조하기 위한 핵심 공정 및 장비 기술의 산학연 공동 연구 기반 구축하는 것을 목표로하여 2013년부터 5년간 수행되었음.
ㅇ 나노소재의 의미는, 단결정 나노박막, CNT, 그래핀, 양자점, 나노와이어 등과 같이 기존의 유기물 소재보다 매우 우수한 기능을 지니는 나노크기의 소재임.
ㅇ 고성능의 의미는, 기존의 유기물 기반 유연소자보다 우수한 성능을 의미하며, 전하이동도(소자속도) 100배 이상, 메모리 집적도 100배 이상, 유연 태양전지 효율 20 %이상 등의 예가 있음.
ㅇ 나노소재를 이용한 고성능 유연 소자를 생산할 수 있는 새로운 원천 기술로서,나노소재 및 나노박막의 박리 기술, 롤 기반 전사 기술, 유연소자의 상호 연결기술, 유연 소자 전사용 점착제어 기술 및 보호층 형성 기술 등을 도출하여 유연 소자를 제조할 수 있는 장비 및 공정 기반, 특성 평가 기술 기반을 구축함.
ㅇ 이를 활용하여 산학연 공동 연구를 통하여 단결정 실리콘 박막, 단결정 무기 LED 등을 전사하여 유연 메모리 및 유연 디스플레이를 구현하고 특성을 평가하는 핵심 기술 확보함.
ㅇ 연구성과로서 5건의 기술이전,

( 출처 : 최종보고서 요약 3p )

Abstract ▼

1. Purpose and necessity of R & D
ㅇ Purpose : This project aims to develop original manufacturing technologies for high performance flexible devices based on nanomaterials, and to utilize them for development of flexible device market.
ㅇ Necessity : Conventional flexible devices are consisted

1. Purpose and necessity of R & D
ㅇ Purpose : This project aims to develop original manufacturing technologies for high performance flexible devices based on nanomaterials, and to utilize them for development of flexible device market.
ㅇ Necessity : Conventional flexible devices are consisted of organic semiconducting materials, but their performance is far below that of single-crystalline semiconductors and inorganic nano thin films. This is a main obstacle to their industrialization. In order to commercialize flexible devices, it is necessary to mass-produce a flexible device that satisfies flexibility and high performance at the same time.

2. Contents and scope of R & D
ㅇ Establishment of manufacturing processes and equipments platform for high-performance flexible device : process and equipment technologies related to transfer, adhesion control, interconnection, and lift-off
ㅇ Establishment of application platform for high-performance flexible device : flexible micro LED display, silicon flexible memory, high efficiency flexible solar cell, flexible piezoelectric, flexible photoelectric sensor, etc.
ㅇ Establishment of evaluation platform for high performance flexible device characteristics: evaluation of physical properties, durability, defects and performance of flexible devices

3. R & D achievements
□ Progress towards final research goal

Final goal
• Productivity improvement of flexible device manufacturing
• Development of optical selective lift-off/ transfer and application
• High performance flexible energy and sensor technology
• Property evaluation and reliability improvement technology

Comprehensive Performance
• Roll-based transfer, adhesion control and interconnect process with high productivity
• Selective lift-off/ transfer technology for micro-LED
• Prototype and characterization of flexible piezoelectric and photoelectric sensors
• Evaluation of Electro-Mechanical Properties and Repeated Bending Properties, optical and thermal properties

4. Plan to utilize R & D achievements
ㅇ Application to manufacturing equipment industry for flexible device
ㅇ Application to high-performance flexible materials for material industry
ㅇ Application to international standardization for characterization technologies

( 출처 : SUMMARY 6p )

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 최종보고서 ... 3
• 요 약 문 ... 4
• SUMMARY ... 6
• CONTENTS ... 8
• 목차 ... 9
• 제1장 연구개발과제의 개요 ... 10
• 제 1절. 연구개발의 목적 ... 10
• 제 2절. 연구개발의 필요성 및 범위 ... 11
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 13
• 제 1절. 국외 기술 현황 및 동향 ... 13
• 제 2절. 국내 기술 현황 및 동향 ... 19
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 21
• 제 1절. 고성능 유연소자 제조 공정 장비 기반 구축 ... 21
• 제 2절. 광학식 선택적 박리/전사 공정 장비 기술 개발 ... 76
• 제 3절. 고성능 유연 소자 구현 및 평가 기술 개발 ... 93
• 제 4절. 유연소자 특성 평가 기술 기반 구축 ... 137
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 151
• 제 1절. 목표달성도 종합 ... 151
• 제 2절. 관련분야에의 기여 ... 161
• 제5장 연구개발성과의 활용계획 ... 162
• 제6장 연구시설·장비 현황 ... 163
• 제7장 참고 문헌 ... 164
• 끝페이지 ... 166