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대면적 실리콘 박막태양전지 핵심소재 공정개발 및 평가 기반 구축
Development of Core Materials Processing Technologies for Large Area Silicon Thin Film Solar Cells 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원 부설 재료연구소
연구책임자 정용수
참여연구자 남기석 , 이건환 , 김동호 , 윤정흠 , 권정대 , 김창수 , 박성규 , 조병진 , 이성훈 , 함명관
보고서유형4단계보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2014-01
과제시작연도 2013
주관부처 미래창조과학부
KA
사업 관리 기관 산업기술연구회
등록번호 TRKO201400005649
과제고유번호 1711008502
사업명 재료연구소연구운영비지원
DB 구축일자 2014-05-31
키워드 미세결정질 실리콘.박막 태양전지.상압 플라즈마 화학기상증착법.스퍼터링.고속증착.결정화도 제어.microcrystalline silicon.thin film solar cell.AP-PECVD.Sputtering.High deposition rate.crystallinity control.

초록 ▼

◦ HWP-PECVD를 이용한 미세결정질 셀 특성 확인 및 가스순환장치 개발
◦ Sputtered Si 광흡수층의 결함 제어 및 Si-H monohydride 분율 제어
◦ 스퍼터 증착공정에서의 전자빔 보조 기법 적용
◦ Sputtered Si 광흡수층을 적용한 Si 박막 태양전지 성능 향상
◦ 미세결정질 Si 박막태양전지 I층 증착속도 향상 및 200℃ 저온 공정 조건 확립
◦ 미세결정질 Si 태양전지의 저온 및 고속증착 공정기술 구현
◦ 도핑 층을 사용하지 않는 신개념 실리콘 박막 태양전지 개발<

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 보고서 초록 ... 3
  • 요약문 ... 4
  • 목차 ... 5
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 6
  • 제 1 절. 연구개발의 목적 ... 6
  • 제 2 절. 연구개발의 필요성 및 범위 ... 6
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 7
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 8
  • 제 1 절. 주요연구개발 내용 ... 8
  • 제 2 절. 연구개발 결과 ... 8
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 27
  • 제 1 절. 목표달성도 ... 27
  • 제 2 절. 관련분야에의 기여도 ... 27
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 29
  • ◦ 기술이전방안 ... 29
  • ◦ 성과확산방안 ... 29
  • 끝페이지 ... 30

표/그림 (27)

참고문헌 (25)

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