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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)나노프로텍 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201400013250 |
과제고유번호 | 1425072067 |
DB 구축일자 | 2014-09-20 |
키워드 | 근적외선.공초점.레이저.반도체.패키징. |
개발목표
계획
근적외선 공초점 현미경 개발
정량적 목표항목 및 달성도
초정밀 Z 스캐닝 메커니즘 4.12nm / 레이저 XY 스캐닝 엔진 19.69 fps / 레이저 스캐닝 광학계 해상도 1024 X 768 / Confocal 높이 측정 분해능 10 nm / Confocal 높이 측정 반복능 36nm.max(σ) / 측정데이터 분석 SW 개발 2D/3D Meas & UI 개발 완료
기대효과
일차적으로 외산 측정기의 국산 측정기로의 수입대체를 기대할 수 있으며, 이는 산업계 전반에 설비 투자 비용 절감
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