최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)윌비에스엔티 |
---|---|
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-11 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201400013988 |
과제고유번호 | 1425085730 |
사업명 | 중소기업R&D기획지원사업 |
DB 구축일자 | 2014-09-20 |
키워드 | 반도체.리테이너링.웨이퍼.평탄도.수명.재사용률.인서트몰딩.CMP. |
□ 기획결과
1. 기술분석 및 기술성 진단결과
국내 반도체 산업은 세계시장 점유율 1위를 점하고 있으며, 지속적인 경쟁력확보를 위해 과감한 투자와 기술개발에 끊임없는 노력을 경주하고 있다. 최근에는 대면적 웨이퍼 상에 초고밀도 집적화 회로형성을 위한 치열한 기술경쟁이 가속화되고 있다. 따라서 대형 웨이퍼의 편평도를 획득하기 위한 CMP 공정의 중요성이 갈수록 강화되고 있으며, 특히 CMP 장비의 핵심부품인 리테이너 링의 코스트 절감 및 수명연장에 대한 기술개발이 절실히 요구되고 있다.
신청기술은 CMP(Chemica
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.