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NTIS 바로가기주관연구기관 | 이지스코(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-12 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201400014134 |
과제고유번호 | 1425085513 |
사업명 | 중소기업R&D기획지원사업 |
DB 구축일자 | 2014-10-11 |
키워드 | 정전척.존슨-라벡형.쌍극형.흡착력.체적저항.플라즈마.흡착방식.폴리이미드.OLED. |
□ 평가결과
1. 기술분석 및 기술성 평가결과
본 기술은 알루미나-실리카 소재의 정전척은 8세대 급 대면적 정전척 생산에 유리하고 OLED 화소 공정에 영향을 줄 수 있는 전기장의 영향성을 최소화 할 수 있는 저전압 특성 확보가 가능하며, 소재 물성면에서 표면 scratch에 강한 내구성과 과전압 등의 돌발 이상 전압에 파괴되지 않고 견딜 수 있는 높은 내전압 특성을 가지고 있다. 또한 장시간의 life time을 가지고 있어 최신기술의 발전 방향에 다소 앞서 있으며 기술 진입 장벽이 높아 최근의 기술 및 산업동향과 부합
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