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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)이노시엠 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-08 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400014626 |
과제고유번호 | 1425072404 |
사업명 | 창업성장-기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2014-10-04 |
키워드 | 적층형콘덴서.세라믹 박막.적층시스템.초정밀이송모듈.위치정렬모듈. |
개발목표
초고용량 MLCC 제조용 대면적 세라믹 이송-정렬모듈 개발
이송-정렬모듈 개발/장비 탑재완료 수요기업 납품 완료 (매출 8.6억원, 추가 11억 수주완료)
정량적 목표항목 및 달성도
1.세라믹박막 두께 (㎛) 1 이하 0.96(수요기업검사서, 보고서 p.81)
2.세라믹박막 크기 (㎜) 220×220 220×220 (수요기업검사서, 보고서 p.82)
3.공정 속도 (sec/layer) 6.0이하 4.3 (수요기업검사서, 보고서 p.82)
4.정렬 정밀도 (㎛) R15이하 14.58 ,
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