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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)조광하이테크 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-12 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400014861 |
과제고유번호 | 1425076357 |
사업명 | 창업성장-첫걸음기업지원사업 |
DB 구축일자 | 2014-10-04 |
키워드 | 웨이퍼 세정.습식세정.마그네틱. |
개발목표:
계획-
세정장치 내부의 세정조 및 약액 속에서 카세트와 웨이퍼의 분리 및 회전 시킬 수 있는 새로운 세정모듈 과 Cross contamination방지를 위한 Blower 장치 개발
실적-
Pilot형식의 시제품 제작 및 개발
정량적 목표항목 및 달성도:
1. 세정율 : 평균 87.5%
2. 처리량 : 시간당 600장
3. Particle : 면적당 평균 3개
기대효과:
본 기술개발사업의 결과물인 “반도체 웨이퍼용 고효율 Batch식 세정조 및 세정구동모듈”은 기존
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