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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)엠비스텐실즈 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-12 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400014822 |
과제고유번호 | 1425075995 |
사업명 | 제조현장녹색화기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2014-10-04 |
키워드 | Laser 가공.Shadow Mask.AMOLED.Fine Metal Mask(FMM). |
개발목표
정량적 목표항목 및 달성도
1. 개구부 선폭 25um±3um/ 2. 개구부 피치 정밀도 ±3um/ 3. 측정속도 30 분
기대효과
- 350PPI급 FMM 마스크 매출
- 정밀한 Screening 마스크, Bumping 마스크에 신규 매출
- 장비 자체 개발 경험을 통한 장비 신규 매출
- 친환경 청정공정으로 기존 환경 유해 공정인 에칭 기술을 대체
적용분야
- 350PPI 이하의 FMM 마스크
- Screening Mask, Bumping Mask
- Mask 검
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