초록 ▼

개발의 목표
◦FMM 측정 반복정밀도 500nm급(@이송거리 1,000mm)의 검사장비 플랫폼 개발
◦Dual servo control 제어모듈의 개발
◦열적 변형오차 최소화를 위한 열전달 메커니즘 최적 설계 : 온도변화 4%이내(상온)
개발내용 및 결과
◦OLED용 FMM 이미지 분석 및 처리 알고리즘 개발
- FMM의 FFT 분석을 통한 배경제거를 위한 필터설계
- GPU 병렬 처리 기법을 이용한 이미지 처리 알고리즘 연구
◦이중 서보 메커니즘 설계 및 실시간 제어 시스템 개발
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개발의 목표
◦FMM 측정 반복정밀도 500nm급(@이송거리 1,000mm)의 검사장비 플랫폼 개발
◦Dual servo control 제어모듈의 개발
◦열적 변형오차 최소화를 위한 열전달 메커니즘 최적 설계 : 온도변화 4%이내(상온)
개발내용 및 결과
◦OLED용 FMM 이미지 분석 및 처리 알고리즘 개발
- FMM의 FFT 분석을 통한 배경제거를 위한 필터설계
- GPU 병렬 처리 기법을 이용한 이미지 처리 알고리즘 연구
◦이중 서보 메커니즘 설계 및 실시간 제어 시스템 개발
- 이중 서보 메커니즘을 위한 조동(fine motion) 스테이지 개발
- 이중 서보 메커니즘의 실험용 제어 시스템 구현
◦스테이지 구조에 대한 온도 분포 및 열변형 해석
- 기존 검사장비 구조에 대한 온도 분포 해석
- 검사장비 구조의 발열에 의한 열변형 해석

(출처 : 기관주요사업 요약서(초록))

목차 Contents

• 표지 ... 1제 출 문 ... 2기관주요사업 요약서(초록) ... 3목차 ... 6제 1 장 서론 ... 7 제 1 절 개발기술의 중요성 및 필요성 ... 7 제 2 절 국내 ․ 외 관련 기술의 현황 ... 16 제 3 절 기술개발 시 예상되는 기술적 ․ 경제적 파급 효과 ... 22제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 23 제 1 절 당해년도 목표 및 평가 방법 ... 23 제 2 절 당해연도 개발 내용 및 개발 범위 ... 23제 3 장 결과 및 향후 계획 ... 25 제 1 절 연구개발 추진 체계 ... 25 1. 연구개발 추진 전략 ... 25 2. 연구개발 추진 체계 ... 25 3. 연구수행 편성도 ... 26 제 2 절 당해년도 연구개발 결과 ... 27 1. 당해년도 연구개발 추진 일정 및 달성도 ... 27 2. 당해연도 연구개발 추진 실적 ... 28 제 3 절 기대효과 및 사업화 계획 ... 40끝페이지 ... 42