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NTIS 바로가기주관연구기관 | 에이플 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-12 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400014939 |
과제고유번호 | 1425076072 |
사업명 | 창업성장-첫걸음기업지원사업 |
DB 구축일자 | 2014-10-04 |
키워드 | 박막증착 장비.히터 모니터링.불량 진단.RF 필터.영교차율.CVD equipment.Heater Monitoring.Fault detection.RF filter.ZCR. |
ㅁ개발목표
계획
반도체 CVD 장비 heater fail 검출
실적
반도체 CVD 장비 heater fail Monitoring System 개발
ㅁ정량적 목표항목 및 달성도
1. 370kHz 선택도 : 1. 370kHz 선택도 / 2. 13.56MHz 선택도 : 2. 13.56MHz 선택도 / 3. 370kHz 검출범위 : 3. 370kHz 검출범위 / 4. 13.56MHz 검출범위 : 4. 13.56MHz 검출범위 / 5. 최종 시스템 불량 검출률 : 5. 최종 시스템 불량 검출률
ㅁ기대효
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