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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경원대학교 KyungWon University |
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연구책임자 | 강민식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-05 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가관리원 (중기청) |
등록번호 | TRKO201100015158 |
과제고유번호 | 1425065037 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
고품질의 온도 균일도 구현이 가능한 진공 솔더링 장비 개발
- 온도 균일도 향상을 고려한 진공챔버,히터,척 설계 및 제작
- 온도 균일도 향상을 고려한 제어 방법 개발 및 구현
2. 개발내용 및 결과
본 과제를 통하여 진공 솔더링 장비에서 고품질의 온도 균일도를 구현하였다.
- 먼저 온도 균일도 시험을 위한 진공 솔더링 장비를 설계 및 제작하였다. 진공
솔더링 장비는 진공 공정을 진행하기 위한 기본 모듈인 진공 챔버, 웨이퍼를 가열하는 열원이 되는 히터, 웨이퍼 온도를 균일화하도록
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