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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)티티에스 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400014952 |
과제고유번호 | 1425075745 |
사업명 | 창업성장-건강관리연계 |
DB 구축일자 | 2014-10-04 |
키워드 | Aluminum.Heater.Novellus.LAM.ARC.CVD. |
개발목표
계 획
Vector 및 Extreme장비의 외산 제품을 대체할 수 있는 국산화 개발
실 적
-제품 개발 완료
-현재 고객사에서 평가 중
정량적 목표항목 및 달성도
1. 발열 성능 480℃ 인증 완료, 2. 온도 균일도 480±3.8℃ 인증 완료, 3. 진공 leak 4X10-9 검사 완료, 4. 절연 저항 >20MΩ 검사 완료
기대효과
◦제품 국산화로 막대한 수입 대체 효과 가능
◦수입 제품 고장시 폐기율 약 30%절감 가능(기술 확보로 국내 수리를
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