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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)위지트 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-09 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201400019426 |
과제고유번호 | 1415095618 |
사업명 | 산업단지혁신클러스터 |
DB 구축일자 | 2014-11-10 |
키워드 | 노광 공정.반사율.노광기척.표면기술.착색. |
2. 개발내용 및 결과
노광기 척은 후방 반사에 의한 2차 감광을 억제하기 위하여 초저반사율이 요구되고, 안정적인 노광 품질을 얻기 위해서 초정밀 평탄도가 요구된다. 본 연구에서는 초저반사율 및 평면연마를 통한 평탄도 확보에 주력하였고, 연구 결과 정반사율 1% 이하를 달성하였고, 평탄도는 1/100mm 이하를 달성하여 사업계획 대비 100% 의 연구 성과를 얻었다. 또한, 개발 기술을 시제품에 적용하여 Field Test를 진행한 결과 사용상 문제없다는 결과를 통보 받았다.
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