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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)코아시스템즈 |
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연구책임자 | 서광석 |
참여연구자 | 황민수 , 권대갑 , 한재원 , 김만복 , 구자춘 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-10 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201700001271 |
과제고유번호 | 1415124570 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | glass chuck.alignment.digital mask.DMD.full frame testing.PCI-express.FPGA.maskless lithography.automation.micro manipulator. |
□ 최종목표
- 8세대 기판 대응 대면적 초정밀 chuck system의 요소 기술 및 통합 chuck system의 설계 개발 및 제작
- DMD 구동 특성 평가 기술, 장치 개발 및 광 스팟 어레이 position 계측 기술 개발
- 고속 멀티 DMD 시스템 대응을 위한 디지털 마스크 패턴 전송기술 및 DMD 구동 기술 개발
- 광학 헤드의 정렬에 필요한 기구를 설계하여 기구적인 특성을 파악하고 구동 전략을 제안
□ 개발내용 및 결과
- chuck 요소 기술의 개발 및 제작 (theta a
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