$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

초저반사율을 갖는 露光 공정용 露光機 Chuck 국산화 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 (주)위지트
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2009-09
과제시작연도 2008
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201400019426
과제고유번호 1415095618
사업명 산업단지혁신클러스터
DB 구축일자 2014-11-10
키워드 노광 공정.반사율.노광기척.표면기술.착색.

초록

2. 개발내용 및 결과
노광기 척은 후방 반사에 의한 2차 감광을 억제하기 위하여 초저반사율이 요구되고, 안정적인 노광 품질을 얻기 위해서 초정밀 평탄도가 요구된다. 본 연구에서는 초저반사율 및 평면연마를 통한 평탄도 확보에 주력하였고, 연구 결과 정반사율 1% 이하를 달성하였고, 평탄도는 1/100mm 이하를 달성하여 사업계획 대비 100% 의 연구 성과를 얻었다. 또한, 개발 기술을 시제품에 적용하여 Field Test를 진행한 결과 사용상 문제없다는 결과를 통보 받았다.

목차 Contents

  • 『(현장맞춤형 기술개발, 이전기술사업화 지원)사업』 최종보고서 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 지연 사유서 ... 3
  • 현장맞춤형 기술개발사업 최종보고서 초록 ... 5
  • 목차 ... 6
  • 제 1 장 서론 ... 7
  • 제 1 절 개발대상기술의 중요성 ... 7
  • 제 2 절 국내 · 외 관련기술의 현황 ... 10
  • 제 3 절 기술개발 시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 11
  • 제 2 장 본론 ... 14
  • 제 1 절 기술개발 목표 및 세부내용 ... 14
  • 1. 개발 목표 ... 14
  • 2. 개발내용 및 범위 ... 15
  • 제 2 절 기술개발 결과 ... 19
  • 1. 형상설계 및 가공기술 개발 ... 19
  • 2. 표면기술/평면연마 기술 개발 ... 27
  • 3. 연구 실적 ... 74
  • 제 3 장 결론 ... 76
  • 제 1 절 계획대비 실적 및 성과 ... 76
  • 제 2 절 향후 개선 사항 ... 77
  • 제 3 절 적용분야 및 기대효과 ... 78
  • 끝페이지 ... 82

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로