초록 ▼

1. 최종목표
가. 최종목표: AZO를 이용한 터치패털용 투명 전극 개발
나. 세부목표
1) 터치패널용 AZO를 코팅 기술 개발
2) AZO 박막의 내구성 향상 기술 개발
3) 성능 목표
가) 기판 크기: 100 mm 이상
나) 광투과도: 90 % 이상 (@350-80nm)
다) 박막저항: 4x10_-4 Ω•cm 이하
라) 박막의 균일도: 土5% 이내
마) 내마모성: 80 cycles (RCA Test)
바) 내열성: ≤ 1 % (저항변화율, 대기분위기 2

1. 최종목표
가. 최종목표: AZO를 이용한 터치패털용 투명 전극 개발
나. 세부목표
1) 터치패널용 AZO를 코팅 기술 개발
2) AZO 박막의 내구성 향상 기술 개발
3) 성능 목표
가) 기판 크기: 100 mm 이상
나) 광투과도: 90 % 이상 (@350-80nm)
다) 박막저항: 4x10_-4 Ω•cm 이하
라) 박막의 균일도: 土5% 이내
마) 내마모성: 80 cycles (RCA Test)
바) 내열성: ≤ 1 % (저항변화율, 대기분위기 200℃/30min)
사) 내습성: ≤ 1 % (60℃/90RH, 500hr)
2. 개발내용 및 결과
가. 개발내용
1) 비저항 개선
2) 광투과도 개선
3) 두께 균일도 개선
4) 내마모성 개선
5) 환경시험 및 신뢰도 향상
나. 개발결과
1) 성능평가
2) 신뢰성 평가
3. 기대효과(기술적 및 경제적 효과)
가. 기술적 기대효과
1) 본 기술을 개발하여 ZnO 박막의 특성이 ITO 대비 80 %의 전기 비저항 값에 도달하고 90 %이상의 가시광선 투과율에 도달하면 TCO로 ZnO박막을 ITO를 대체하여 태양전지나 LCD나 PDP 같은 디스플레이에서 사용할 수 있다.
2) 특히 터치패널 기판에 적용하여 디스플레이의 경량화 및 유연성과 저비용화를 이룰 수 있다.
3) 그리고 투명 전도성 산화물 박막의 제조 기술은 다른 물성을 갖는 산화물의 제조에 접목시킬 수 있기 때문에 ZnO 박막에 코발트를 도핑한 묽은 자성 반도체(DMS)제작 기술과 SAW filter제작을 위한 PZT 제작에 본 기술을 용용할 수 있다.
4) 이러한 파급 효과 외에도 TCO로서 ZnO 박막의 원천기술을 확보하여 이 기술의 수출도 이룰 수 있다.
나. 경제적 기대효과
1) 직접적인 효과
가) LCD 디스플레이 부품가격인하
。국내 Market Share 30 % 점유 시1,200억원의 효과가 가능
나) LCD 디스플레이 수출 경쟁력 증대
。수출 Market Share 10 % 점유 시1,700억원의 효과가 가능.
다) 소재 자채 및 기술 수출효과
。국내 Market Share 30 % 점유 시1,500억0의 효과가 가능.
2) 간접적인 효과
가) 투명전극 박막의 원천기술확보
。외국사에 비교 기술, 소재 우위, 기술수출 가능
나) 고기능성 AZO 박막 개발
。1,000억원 이상 수출 가능
다) 기타 기술분야 응용
。나노 분야 기술 응용
라) 가격인하 및 공급의 안정성 도모
。제조원가 절감 및 막대한 수출시장 확보가능
4. 적용분야
가. 터치패널용 투명전극
。넷북, 노트북의 터치 패드
。스마트폰
。교육용 스크린 등
나. 태양전지용 투명전극
。태양전지용 AZO 투명전극에 활용
다. 디스플레이용 투명 전극
。LCD, PDP, 유기 EL TV에 투명전극으로 활용