초록 ▼

ㅇ 나노임프린트 기반 150nm급 나노/마이크로 융복합 패터닝 기술 개발(면적: 4인치 이상)
- 대면적 나노 마스터 제작을 위한 간섭리소그라피 기반의 공정시스템 구축과 얇은 유리 기반의 복제 몰더 공정기술 개발 및 150nm 패턴크기의 복제 몰더 공정 기술 개발
- 선택적 노광을 통한 나노임프린트 기술 개발과 130nm급 및 150 nm급 복제몰더를 이용한 공정 수행 (기판 크기 : 4인치)
ㅇ 기능성 소재 나노 툴 가공성 평가 기술개발
- 1 ㎛ 급 및 수십 ㎛ 급 영역의 나노/마이크로 복합 패턴을 가진 다

ㅇ 나노임프린트 기반 150nm급 나노/마이크로 융복합 패터닝 기술 개발(면적: 4인치 이상)
- 대면적 나노 마스터 제작을 위한 간섭리소그라피 기반의 공정시스템 구축과 얇은 유리 기반의 복제 몰더 공정기술 개발 및 150nm 패턴크기의 복제 몰더 공정 기술 개발
- 선택적 노광을 통한 나노임프린트 기술 개발과 130nm급 및 150 nm급 복제몰더를 이용한 공정 수행 (기판 크기 : 4인치)
ㅇ 기능성 소재 나노 툴 가공성 평가 기술개발
- 1 ㎛ 급 및 수십 ㎛ 급 영역의 나노/마이크로 복합 패턴을 가진 다이아몬드 공구 제작
- 사각 공구 및 삼각 공구에 의한 금형재료 1 ㎛ 급 및 수십 ㎛ 급 패턴 가공기술 개발
ㅇ 500nm급 나노/마이크로 복합패턴 (각도, 피치 가변) 가공기술개발
- 각도, 피치 가변 가공 시 발생되는 공구위치오차 보정방법 개발 및 적용
- 소재, 공구형상, 세부가공공정 등을 고려한 비평면(비구면)상에 500nm(피치)급 나노패턴 기계적 가공 기술개발
ㅇ 나노 복합패턴 적용 광소자 효율 향상기술 개발 (효율 향상율 130%이상)
- 복합패턴 적용 광소자 OLED효율 향상 공정기술 개발 (복합패턴 적용 효율향상: >130%)
ㅇ MagIC 기반 하이브리드 임프린트/프린트 복합공정 및 응용 기술개발
- MagIC 기반 하이브리드 임프린트/프린트용 시스템 제작 기술개발
- MagIC 임프린트 공정 개발 및 롤 방식 공정기술 개발

Abstract ▼

III. Results
○ Machining of ultra-fine patterns having 500nm pitch on a curved (aspherical) surface by improving mold materials and machining tools
○ 1 um order in height/width and hybrid pattern machining on metal surface by diamond tool(square- and triangle-type) patterned with femtosecond l

III. Results
○ Machining of ultra-fine patterns having 500nm pitch on a curved (aspherical) surface by improving mold materials and machining tools
○ 1 um order in height/width and hybrid pattern machining on metal surface by diamond tool(square- and triangle-type) patterned with femtosecond laser
○ Development of nanoimpirnt technologies for nano-micro patterns using localized exposure lithography (minimum line width 150 nm)
○ The development of OLED device application technology of nanohybrid pattern including microlense (Efficiency enhancement: 159%)
○ Developing Hybrid Imprint/Print Manufacturing System and Processes