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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)와이에스썸텍 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-09 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201400019794 |
과제고유번호 | 1415110173 |
사업명 | 산업집적지경쟁력강화사업 |
DB 구축일자 | 2014-11-10 |
키워드 | 사파이어 단결정 잉곳.사파이어 기관.LED. |
2. 개발내용 및 결과
가. Bridgman 법을 이용한 사파이어 단결정 성장공정 및 장비개발 완료
1) Coring 공정이 필요없는 C축 성장 사파이어 잉곳장비 개발완료
2) Ingot 수율: 80% 이상의 C축 단결정 잉곳성장완료
3) 유효 Ingot 길이: 50mm
4) 성장속도 : 2mm/hr
5) 잉곳 무결점화 : Lineage, Bubble 무결점화
6) 최적의 온도조건 확립 : Seed 와 알루미나 융액의 경계선의 온도분포 약±2℃ 및 위치제어 ±0.1mm 이내
7) Hot z
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