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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-03 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 Ministry of Education and Science Technology(MEST) |
등록번호 | TRKO201400021943 |
과제고유번호 | 1345170111 |
사업명 | 도약연구지원사업(도전) |
DB 구축일자 | 2014-11-10 |
키워드 | 초고주파.집적회로.화합물 반도체.암.생체기술.Microwave.Integrated Circuits.RF MEMS.Compound Semiconductor.Cancer.Bio Technology.MMIC.RFIC.Hyperthermia. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201400021943 |
연구결과
1단계 연구에서는 암 진단에 적용가능한 Reflectometer 기반의 유전율 측정 알고리듬을 개발하였으며, 초소형 집적 시스템으로 Reflectometer를 제작하여 그 성능을 검증하였다. 이를 위해 고집적 소형화가 용이한 RF MEMS 공정을 이용하여 광대역에서 유전율 측정이 가능한 탐침을 개발하였다. 또한 Si CMOS 공정을 이용해 다중대역 신호발생기를 구현하였으며, 광대역 MEMS 방향성 결합기, GaAs pHEMT 공정으로 제작한 임피던스 튜너, 전력검출기, 구동 증폭기 등과 함께 MEMS 탐침에 집적함으로
Result
In the proposed research, the sub-circuits for minimized active cancer detection and treatment system were developed using RF MEMS, Si CMOS/GaAs ICs and vertical integration technologies. RF MEMS probe, which was optimized in consideration of thermal and frequency characteristics, was made
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