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NTIS 바로가기주관연구기관 | 솔브레인이엔지 |
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연구책임자 | 윤기채 |
참여연구자 | 추성일 , 박승문 , 김구성 , 박상진 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-07 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201600017689 |
과제고유번호 | 1711017550 |
사업명 | 글로벌전문기술개발(정보통신)(한국산업기술평가관리원) |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 시스템 반도체 프로브카드.미세 피치 멤스 탐침핀.멤스 가이드.고다층 필름 공간변환기.고속 PCB. |
□ 최종목표
1. 최종 목표
시스템 반도체 검사용 프로브카드에 필요한 미세피치 대응 멤스탐침핀, 멤스 가이드, 공간변환기, PCB 요소기술 개발
2. 세부 목표
가. 미세피치 멤스 탐침핀 제조 기술 개발
1) 탐침력 2gf 이하 대응
2) 내구성 1,000K Cycle 대응 구조 개발
3) 탐침핀 제작 기술 : 직경 20μm급 구조물 제작, 이종(異種) 재질적층 공정 기술
4) 탐침핀 초고경도 기술 : 경도 1,500Hv 재질 도금 기술
나. 멤스 가이드 기술 개발
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