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[국가R&D연구보고서] 미래 창의원천 기계 기술 개발
Development of the future creative core technologies for the mechanical industries 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2013-01
과제시작연도 2012
주관부처 지식경제부
Ministry of Knowledge Economy
연구관리전문기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
등록번호 TRKO201400023534
과제고유번호 1415126895
사업명 한국기계연구원연구운영비지원
DB 구축일자 2014-11-22
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201400023534

초록

<극 초박형 웨이퍼 TBDB 장비 핵심기술 개발>
-진공전파형 다공질 Picker 설계 및 성능평가, 고정도 표면결함 검사를 위한 3차원 산란광 패턴 측정시스템 제작
-자가 정렬형 Press Module 설계 및 성능평가, 진공환경용 Mechanical Picker FEM 해석 및 설계, Edge Bead를 제거하기 위한 Spin Coater 설계
<차세대 극저온 냉동기 기술 개발>
-맥동관냉동기 구성요소 기본설계, 맥동관냉동기 냉동사이클 해석, 맥동관 팽창기 및 열교환기 설계
-선형압축기 해석/설계 기술

Abstract

Ⅳ. Research results
Fields
Challenging original technology
Title of sub-R&D projects
Integrated molding technology for fabrication of devices with nano hybrid structures
Contents
-Literature survey/analysis on the applications of ion transport control
-Derivation of nanopore geo

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 초록 ... 3
  • 요 약 문 ... 4
  • SUMMARY ... 8
  • CONTENTS ... 13
  • 목 차 ... 15
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 16
  • 제 1 절 필요성 ... 16
  • 제 2 절 연구개발의 목표 및 내용 ... 17
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 19
  • 제 1 절 극 초박형 웨이퍼 TBDB 장비 핵심기술 개발 ... 19
  • 제 2 절 차세대 극저온 냉동기 기술 개발 ... 20
  • 제 3 절 나노복합구조 소자화를 위한 통합화 성형 기술 ... 23
  • 제 4 절 원자로 냉각계통 액체금속유동 원천기술 개발 ... 24
  • 제 5 절 자기부상 무동력 이송자 시스템 기술 개발 ... 25
  • 제 6 절 능동형 재활치료 및 미세현장진단 기술 개발 ... 26
  • 제 7 절 저탄소형 순산소 가스화 시스템 기술개발 ... 31
  • 제 3 장 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 32
  • 제 1 절 극 초박형 웨이퍼 TBDB 장비 핵심기술 개발 ... 32
  • 제 2 절 차세대 극저온 냉동기 기술 개발 ... 37
  • 제 3 절 나노복합구조 소자화를 위한 통합화 성형 기술 ... 42
  • 제 4 절 원자로 냉각계통 액체금속유동 원천기술 개발 ... 47
  • 제 5 절 자기부상 무동력 이송자 시스템 기술 개발 ... 52
  • 제 6 절 능동형 재활치료 및 미세현장진단 기술 개발 ... 57
  • 제 7 절 저탄소형 순산소 가스화 시스템 기술개발 ... 63
  • 제 8 절 기계산업 성장동력 발굴 및 미래유망기술 기획 연구 ... 68
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 73
  • 제 1 절 정량적 성과 달성도 ... 73
  • 제 2 절 경제적효과 ... 73
  • 제 3 절 사회적기여도 ... 75
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 76
  • 끝페이지 ... 78

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