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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-01 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 지식경제부 Ministry of Knowledge Economy |
연구관리전문기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
등록번호 | TRKO201400023534 |
과제고유번호 | 1415126895 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2014-11-22 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201400023534 |
<극 초박형 웨이퍼 TBDB 장비 핵심기술 개발>
-진공전파형 다공질 Picker 설계 및 성능평가, 고정도 표면결함 검사를 위한 3차원 산란광 패턴 측정시스템 제작
-자가 정렬형 Press Module 설계 및 성능평가, 진공환경용 Mechanical Picker FEM 해석 및 설계, Edge Bead를 제거하기 위한 Spin Coater 설계
<차세대 극저온 냉동기 기술 개발>
-맥동관냉동기 구성요소 기본설계, 맥동관냉동기 냉동사이클 해석, 맥동관 팽창기 및 열교환기 설계
-선형압축기 해석/설계 기술
Ⅳ. Research results
Fields
Challenging original technology
Title of sub-R&D projects
Integrated molding technology for fabrication of devices with nano hybrid structures
Contents
-Literature survey/analysis on the applications of ion transport control
-Derivation of nanopore geo
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