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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 HanYang University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-09 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
연구관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201400028585 |
과제고유번호 | 1711000202 |
사업명 | 중견연구자지원 |
DB 구축일자 | 2014-11-22 |
키워드 | 유기-무기 나노복합초격자.분자층성장 기술.원자층성장 기술.나노복합초격자.나노복합박막.유기-무기-금속 나노복합박막.Organic-Inorganic Nano-Hybrid Superlattice.Molecular Layer Deposition.Atomic Layer Deposition.Nano-Hybrid Superlattice.Nano-Hybrid Thin Film.Organic-Inorganic Nano-Hybrid Thin Film. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201400028585 |
연구결과
- 단분자층 수준에서 조절이 가능한 다양한 종류의 분자층성장(MLD) 기술 개발
- MLD 기술을 이용하여 기상에서 고품질의 유기분자박막의 제조 기술 확립
- 유기분자박막을 이용한 분자전자소자 제조 기술 확립
- 단원자층 수준에서 조절이 가능한 다양한 종류의 원자층성장(ALD) 기술 개발
- ALD 기술을 이용하여 고품질의 무기 및 금속 박막 제조 기술 확립
- MLD 기술에 ALD 기술을 융합한 MLD-ALD 기술 개발
- MLD-ALD 기술을 이용하여 단분자층 및 단원자층 수준에서
Result
- Development of new molecular layer deposition techniques
- Rapid fabrication and characterization of high-quality organic multilayers by MLD
- Fabrication and characterization of molecular electronic devices with organic multilayers
- Development of many atomic layer deposition
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