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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항공과대학교 산학협력단 Pohang University of Science and Technology |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-09 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201400028677 |
과제고유번호 | 9991002035 |
사업명 | 일반연구자지원(미래부) |
DB 구축일자 | 2014-11-22 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201400028677 |
본 연구과제는 전기장(Electric field)과 FET(Field Effect Transistor)를 결합한 새로운 기계-전기 변환 방식의 개발을 목표로 한다. 기존에 알려진 초소형 MEMS(Microelectromechanical systems) 센서에서 채택해 왔던 기계-전기 변환 방식은 각각의 장점에도 불구하고 초소형화에 따른 감도 저하 및 저주파 성능 상의 한계를 가지고 있다. 특히 현재 상용화된 MEMS 마이크로폰 및 가속도 센서에서 채택하고 있는 capacitive type 기계-전기 변환 방식은 초소형화에 됨에 따라
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