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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인천대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 김영관 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-10 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201400029496 |
과제고유번호 | 1415093685 |
사업명 | 신재생에너지기술개발 |
DB 구축일자 | 2021-10-09 |
키워드 | 규소.규소슬러지 재활용.태양전지.기판. |
핵심기술
반도체 공정 중 wafer back grinding 공정에서 발생되는 폐수를 재활용함 주 기술로는 회수기술, 용해 및 정련기술이 있음
최종목표
반도체의 packaging 공정 중 wafer back grinding 과정에서 발생하는 silicon sludge를 이용하여 태양전지용 다결정 wafer를 만듦.
개발내용 및 결과
반도체 제조 최종 공정에서 발생되는 sludge 규소와 DI wafer로 구성되어있읍 이 중에 규소는 반도체 공정에 사용되는 기판이기 때문에 볼순물(특히 dopant인 B, P
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