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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인천대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 배철훈 |
참여연구자 | 김영관 , 양수원 , 김선진 , 정광필 , 윤원태 , 이영애 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-02 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201700003295 |
과제고유번호 | 1415093685 |
사업명 | 신재생에너지기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-02-24 |
키워드 | 규소.규소슬러지.재활용.태양전지.기판. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700003295 |
반도체 제조 최종 공정에서 발생되는 sludge는 규소와 DI water로 구성되어있음. 이 중에 규소는 반도체 공정에 사용되는 기판이기 때문에 불순물(특히 dopant인 B, P)의 양이 적어서 재활용 할 경우에 태양전지로 사용이 가능함. 다만 이 규소의 크기가 매우 작아서 불과 섞여있는 경우에 회수가 어렵고 용해가 어려웠음. 본 과제를 시행하면서 이 재료에 대하여 용해 공정이 개발되고 또한 태양전지로 재활용되는 가능성이 확인되었음.
(출처: 보고서 초록 5p)
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