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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-11 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201500000960 |
과제고유번호 | 1711019875 |
사업명 | 한국표준과학연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2015-05-02 |
키워드 | 초박만.진공.플라즈마.원료물질.표준.ultra–thin film.vacuum.plasma.precursor.standard. |
연구목표
◦ 최종 연구목표
- 초박막 공정기술이란 수 ~ 수십 Å 수준의 박막을 조성하기 위한 원료, 공정, 장비 환경 등을 모두 포함하는 기술로 반도체, 디스플레이, 태양전지 등 최첨단 국가산업의 핵심기술로 국내 현실에 적합한 초박막 공정용 측정 기준 제시 및 국가 표준 개발
◦ 해당단계 연구목표
- 초박막 공정기술에 필요한 장비, 공정 표면 및 증착원료 원천 측정기술 확보
연구내용
◦ 1년차 연구내용
- 고밀도 플라즈마 발생기술 및 진공펌프 측정변수확장, 복합상태진단기술
- 레이저산란시
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