초록 ▼

본 연구에서는 무분진 청정 이송 시스템의 구현에 필요한 자기부상 무동력 이송자 시스템의 부상/안내/추진 전자석의 설계 및 제어기 개발을 수행하고, 무동력 이송자의 자기부상을 위한 시험기 및 이송 시스템 개발을 수행한다. 즉,
1. 자기부상/안내 전자석 설계 및 제어기 개발
2. 추진 전동기 설계 및 시험기 개발
3. 자기부상 이송 시스템 개발
자기부상 무동력 이송자 시스템은 기존에 개발된 사례가 없는 새로운 개념을 기반으로 한다. 이송자에 센서를 설치하지 않으며 전력 또한 공급되지 않는 상태에서 외부의 센서만을

본 연구에서는 무분진 청정 이송 시스템의 구현에 필요한 자기부상 무동력 이송자 시스템의 부상/안내/추진 전자석의 설계 및 제어기 개발을 수행하고, 무동력 이송자의 자기부상을 위한 시험기 및 이송 시스템 개발을 수행한다. 즉,
1. 자기부상/안내 전자석 설계 및 제어기 개발
2. 추진 전동기 설계 및 시험기 개발
3. 자기부상 이송 시스템 개발
자기부상 무동력 이송자 시스템은 기존에 개발된 사례가 없는 새로운 개념을 기반으로 한다. 이송자에 센서를 설치하지 않으며 전력 또한 공급되지 않는 상태에서 외부의 센서만을 이용하여 이송자를 제어하기 때문에, 정밀한 위치 및 자세 정밀도를 얻기 위해서는 고난이도의 설계 및 제어기술을 필요로 한다. 따라서 본 연구를 통해 제시된 무동력 이송자의 자기부상시스템 설계 및 제어 기술은 향후 다양한 산업 영역의 청정 이송 시스템 수요에 대응함에 있어서 좋은 자료가 될 것이다.

Abstract ▼

This research aims to develop core technologies for passive tray(no power in tray itself) system. The technologies are passive levitation, propulsion, and guidance, which can be great benefits for semi-conductor and display manufacturing industry, because it does not produce any particles during tra

This research aims to develop core technologies for passive tray(no power in tray itself) system. The technologies are passive levitation, propulsion, and guidance, which can be great benefits for semi-conductor and display manufacturing industry, because it does not produce any particles during transferring the tray. Therefore, it allows non-contacting transferring capability that guarantees quite, clean, and less-vibrating operations. Furthermore, the passive concept makes the tray movement in vacuum chamber that is critical manufacturing condition for most recent display product (OLED).
The research target is developing the passive tray system, including design of levitation/guidance magnets, propulsion linear motor design, controller design, and test-bed development, and final assembly.
During last project term, we finished system design and manufacturing a test-bed, analyzed the magnets for levitation and guidance. designed the controller for levitation and guidance, and performed analysis of the dynamic model.
This research results have many possible applications. Especially, the manufacturing system of large sized displays requires a clean transferring tray. The new idea, passive tray concept, provides zero-particle system that was not easy to achieve with conventional transferring tray. This technologies will provide valuable assets for future manufacturing system.