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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-12 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201500001807 |
과제고유번호 | 1711005179 |
사업명 | 글로벌프론티어사업 |
DB 구축일자 | 2015-05-23 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201500001807 |
□ 연구목표 및 내용
연구개발 목표
1차년도 - 나노-마이크로 구조체 제작공정기술 개발
연구개발 내용 및 범위
- 고 종횡비(aspect ratio) 나노스템프 제작 공정기술 개발
- 고 종회비 나노구조제작을 위한 나노임프린트 공정 기술 개발
- 마이크로/나노 구조체패터닝 기술 개발
2차년도
- 생체물질 고정화기술 구현 및 소자적용기술 개발
연구개발 내용 및 범위
- 메탈박막형성을 위한 경사증착기술 개발
- 나노/마이크로 구조체와 생체물질 고정화기술 개발
- 바이오소자
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