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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-01 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201500001833 |
과제고유번호 | 1711020796 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2015-05-23 |
키워드 | 진공.미세분말.메탈 필터.변동계수.디지털 제어.Vacuum.Fine powder.Metal filter.Coefficient of variation.Digital control. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201500001833 |
실리콘 Nano Powder를 생산하는 몇 가지 방법 중에서 참여기업에서 적용하는 플라즈마를 이용한 기상법에서는 분포가 넒은 마이크론 분말의 연속적인 공급이 매우 중요하다. 기존에 마이크로 분말을 공급하는 장치는 신뢰성이 낮고 수명이 짧은 단점을 가지고 있다. 본 연구에서는 이러한 점을 개선하가 위해서 아래의 조건을 만족시키는 진공환경용 마이크로 분말 공급장치를 개발하였다.
○ 원재료 분말 크기 : 1 um ~ 100 um(D50 기준)
○ 공정진공 압력 : 9 psi - 14 psi
○ 분말 토출조건 : 최소 1.
The biggest problem is the reliability and short lifespan in the powder feeder. The reliability problem due to the wear caused by the powder. In this study, these problems were solved with the new concept design. Powder is filled in the frame of reference by gravity in the conventional powder feeder
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