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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-01 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
연구관리전문기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
등록번호 | TRKO201500001841 |
과제고유번호 | 1711020788 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2015-05-23 |
키워드 | 라인 빔.롤투롤 장치.미세패턴.피코초 레이저.모듈인터페이싱.line beam.roll-to-roll system.micro patterns.picosecond laser.module interfacing. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201500001841 |
ㅇ 라인빔 형성을 위한 스캐너 모듈 구성
- 스캐닝 속도 100 – 400 lines/sec, 스팟이송 속도 25 – 100 m/sec
- 입사 빔 직경 10 mm, 초점거리 190 mm, 작업 거리 18 mm 사양의 모듈
- 적용 레이저는 피코초 레이저로 515 nm 의 파장을 가지며 평균출력 60 W, 최대반복율 600 kHz 임
ㅇ 정밀 기판 이송 기술(Unwinding & Winding 속도/장력 제어) 개발
- 스캐너 제어기에서 발생하는 구동 펄스를 모션제어기에서 입력받고 이를 이용하여 속도를 제
III. Results
○ Result of module development
- Scanning speed: 100 ~ 400 line/sec
- Spot moving speed: 25 ~ 100m/sec
- Beam diameter: 10mm (with focal length of 190 mm)
- Working distance: 18mm
○ Development of velocity control technique
- Principle of the technique: A motion con
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