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연합인증

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[국가R&D연구보고서] 저압/저온 하에서 박막 증착을 위한 소스 공급 장치 개발 및 이를 이용한 박막 증착 공정 구현 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
보고서유형연차보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2014-12
과제시작연도 2014
주관부처 미래창조과학부
Ministry of Science, ICT and Future Planning
연구관리전문기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
등록번호 TRKO201500001917
과제고유번호 1711022297
사업명 한국생산기술연구원연구운영비지원
DB 구축일자 2015-05-02
키워드 저온.저압.Liquid source delivery system.Digital CVD.

초록 ▼

핵심기술:
Aerosol-vapor delivery system을 적용된 Liquid source delivery system(LDS) 개발 및 제작
개발의 목표:
10 mTorr 이하 저압, 300 ℃ 이하 저온 환경에서 액상 전구체를 이용하여 박막 증착 공정이 가능한 LDS의 핵심 부품인 Vaporizer 개발
개발내용 및 결과:
□ 상온으로부터 300 ℃ 수준의 고온 대응이 가능한 Vaporizer 개발 및 개발된 Vaporizer를 이용한 LDS 제작
- Piezo type ultraso

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