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NTIS 바로가기주관연구기관 | 건국대학교 KonKuk University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-05 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201500002832 |
과제고유번호 | 1711008185 |
사업명 | 일반연구자지원(미래부) |
DB 구축일자 | 2015-05-16 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201500002832 |
1. 유기금속 전구체와 탄소화합물을 이용한 원자층 증착법
☞ 그래핀 등 sp2 탄소를 성장하기 위해서는 전이금속 촉매가 필요로 하기 때문에 CO 및 t-butyl-acetylene을 리간드로 가지는 Co 착물을 전구체로 사용하고, 벤젠 등을 탄소 전구체로 사용한 ALD 공정을 개발하였다.
☞ 상기 전구체를 사용하는 고온 ALD 공정을 통하여 sp2 탄소가 성장됨을 확인하였으나, 성장된 그래핀은 결정질이 나쁘고 크기가 작으며, 층수가 여려겹인 그래핀 flake 수준인 것으로 추정된다.
☞ 그래핀의 성장을 위한 또 다른
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