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NTIS 바로가기주관연구기관 | 아주대학교 Ajou University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-05 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201500004382 |
과제고유번호 | 9991005329 |
사업명 | 일반연구자지원(교육부) |
DB 구축일자 | 2015-05-30 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201500004382 |
본 기본연구에서는 Fab 공정 수율 분류 및 예측을 위한 LAD기반 수율 관리에 관한 연구를 수행하였다. 이를 위해 먼저 본 연구의 1차년도에서는 Fab 공정 수율 분류 및 예측을 위한 LAD 기반 수율 관리 시스템 구축을 위하여 Fab 공정의 주요 파라메타에 대한 이상(abnormal)수율 진단을 위한 LAD 기법 연구가 진행되었다. 연구 진행은 Support Set 생성, 패턴생성, 이상수율 분류 모델(theory) 수립 단계로 나누어 수행하였으며, 다음과 같은 결과를 얻었다.
● 좋은 성능을 갖는 패턴을 찾기 위해서 Su
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