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NTIS 바로가기주관연구기관 | 고려대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 백준걸 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-06 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201300018642 |
과제고유번호 | 1345151151 |
사업명 | 기본연구지원사업 |
DB 구축일자 | 2013-08-26 |
본 연구는 초미세공정으로 전환되는 반도체․디스플레이 FAB 공정에서 수율을 높이기 위하여 이에 기반을 둔 이상 판단 및 분류 알고리즘을 개발하는 것을 목표로 진행되었다. 공정을 통해 생산된 제품의 품질을 높이기 위해서는 하나하나의 공정을 정밀하게 운영하는 것이 필수적이다. 이는 공정을 진행하는 생산 장비가 정상적으로 운영되는지 그렇지 않은지를 판단한 뒤, 만일 장비가 정상적이지 않다면 이러한 이상이 어떠한 원인에서 발생 되었는지를 확인하는 과정 거치는 데 이러한 것을 이상 판단 및 분류라 말한다. 그러나 최근 20nm까지 회로의 선
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