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NTIS 바로가기주관연구기관 | 브이앤아이솔루션 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-05 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500011576 |
과제고유번호 | 1425088075 |
사업명 | 창업성장-기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-07-18 |
키워드 | 선형.금속소스.수직형.Linear.Cathode Soruce.Vertical. |
□ 개발목표
계획
대면적 수직형 증착기에 적용 가능한 Mg 선형 증발원(Source)개발
실적
Mg 선형 증발원 개발 완료
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 증착속도 : 계획(1 Å/sec), 실적(117 Å/sec)
2. 증발원 용량 : 계획(700 cc), 실적(757 cc)
3. 최대 가열 온도 : 계획(1350 ℃), 실적(1358.1 ℃)
4. 증착 균일도 : 계획(± 5%), 실적(± 3.2%)
5. Base Pressure : 계획(≤ 3.0×10
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