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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)아이엠텍 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-08 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500011967 |
과제고유번호 | 1425066630 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2015-07-25 |
키워드 | Probe Card.Space Transformer.12 inch.Multilayer Ceramics. |
□ 개발목표
계획
12“ DRAM 프로브카드용 스페이스 트랜스포머 개발
실적
12“ DRAM 프로브카드용 스페이스 트랜스포머 개발
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 크기 : 계획(Min. 12 inch), 실적(12.5 inch 구현)
2. 임피던스 : 계획(45 ~ 55 Ω), 실적(45Ω)
3. 열팽창 계수(RT ~ + 150℃) : 계획(Max. 5.0 ppm/℃), 실적(4.35ppm/℃)
4. 신호 라인 저항(전도선 저항) : 계획(Max. 3.0 Ω), 실적
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