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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국산업기술시험원 Korea Testing Laboratory |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500012011 |
과제고유번호 | 1425067115 |
사업명 | 연구장비공동활용지원 |
DB 구축일자 | 2015-07-25 |
키워드 | 유전체.공진.RF파워.피드백회로.신뢰성. |
□개발목표
계획 :
◦ 유전체 공진기를 이용한 1kW급 플라즈마 발생장치의 개발
- 구동기압 : 상압
- 설비효율 : 50%
- 수명 : 3,000시간
- 균일성 : 1.2%
- 플라즈마밀도 : 1015/㎤
실적 :
◦ 어레이 타입 유전체 공진식 1kW급 플라즈마 발생기 개발
□정량적 목표항목 및 달성도
1. 구동기압
계획 : 760torr
실적 : 760torr
2. 설비효율
계획
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