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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500012021 |
과제고유번호 | 1425067103 |
사업명 | 연구장비공동활용지원 |
DB 구축일자 | 2015-07-25 |
키워드 | 극초단펨토초 레이저.초미세패턴 리페어.3차원계측.비열적 레이저가공. |
□개발목표
계획 :
○ 극초단 펨토초레이저 응용 AMOLED/LCD 극미세 전극패턴 리페어 가공기술개발
○ 3D 형상계측시스템 활용 극미세리페어 전극패턴 형상 계측 평가기술개발
○ 극초단 펨토초레이저 및 3D 형상계측이 가능한 하이브리드 시스템 설계기술 개발
실적 :
○ AMOLED/LCD 미세전극 패턴 리페어 가공기술의 정량적 목표항목 달성
○ 3D 형상계측시스템 활용 극미세 리페어 전극패턴 형상 계측 평가기술개발
○ 극초단 펨토초 레이저 및 3D형상계측이 가능한 하이브
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