초록 ▼

1. 연차목표
OLED의 리페어 장비와 통합하기 위해 필요로 하는 포커스 파인더와 3차원 정밀 검사 모듈을 OLED 특성에 최적화 되도록 개별적으로 개발하고, 각각의 검사, 측정 성능을 최대한으로 함을 목표로 함. 또한, 다양한 응용에 적용해 봄으로써, 사업화에 대한 타당성을 여러 분야에 검증하는 것을 목표로 함.

1) 포커스 파인더 모듈의 개발
- 10um 분해능의 레이저 광학계 설계
- 10ms 의 고속 포커스 기능

2) 3차원 정밀 검사 모듈의 개발
- 2x2mm 측정 범위를 갖는

1. 연차목표
OLED의 리페어 장비와 통합하기 위해 필요로 하는 포커스 파인더와 3차원 정밀 검사 모듈을 OLED 특성에 최적화 되도록 개별적으로 개발하고, 각각의 검사, 측정 성능을 최대한으로 함을 목표로 함. 또한, 다양한 응용에 적용해 봄으로써, 사업화에 대한 타당성을 여러 분야에 검증하는 것을 목표로 함.

1) 포커스 파인더 모듈의 개발
- 10um 분해능의 레이저 광학계 설계
- 10ms 의 고속 포커스 기능

2) 3차원 정밀 검사 모듈의 개발
- 2x2mm 측정 범위를 갖는 대면적 광학계 설계
- 500nm 해상도에 2초 이내에 3차원 검사가 가능한 모듈의 개발
- 3차원 고속 데이터 처리와 디스플레이 기능의 소프트웨어 개발

3) OLED 특성 분석 및 불량 유형에 대한 분류, OLED 특성에 맞는 설계 자료 제공과 포커스 파인더, 3차원 정밀 검사 모듈의 테스트 진행

2. 개발내용 및 결과
1) 2mm 측정 범위에서 5um 분해능의 포커스 파인더 시제품 개발함.
- 두 원의 거리를 상대 거리를 이용한 포커스 방식을 사용함.
- 고속 처리를 위해 라인 방식으로 변경 요구됨.

2) 5x5mm 측정 범위에서 275nm 분해능의 고속 3차원 검사 모듈 개발함.
- 1.4초 이내 3차원 데이터 처리를 처리하여 디스플레이가 가능함.
- 대면적의 3차원 검사가 가능함.
- 기존 1차년도 목표치를 달성하였으나, OLED 패널에 적용하기에는 더 고 분해능의 모듈이 요구됨.
- 2차년도 성능 개선 개발 진행을 통해 사업화가 가능함.

3. 기대효과(기술적 및 경제적 효과)
1) 세계 수준의 3차원 검사 모듈은 제품의 양산 수율을 높이며, 국산화를 통해 검사 장비의 가격을 낮춰 제품의 가격 경쟁력을 갖출 수 있음.

2) 외국산 제품에 비해, 고객사의 요구에 맞는 제품의 재설계(튜닝) 및 양산이 가능함으로 응용 분야에 최적화된 정확한 검사가 가능함.

3) 휴멘에서 개발하고 있는 파장 가변형 3차원 검사 모듈 기술은 반도체, 디스플레이 산업에 최초로 적용한 기술로, 다양한 분야의 적용이 가능하므로 상용화에 따른 파급 효과가 큼.

4. 적용분야
1차년도 개발 완료된 3차원 검사 모듈을 이용하여 고객사의 다양한 요구 사항에 대해 검증을 진행함. 다음의 분야에 적용 가능한 것으로 검증됨.

1) OLED 리페어를 위한 3차원 위치 정보 및 결함 정보를 통한 리페어 정보 제공
2) 반도체 칩 와이어본딩 결함 검사
3) 반도체 디스펜서 불량 검사

(출처 : 연차보고서 초록 4p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 연차보고서 초록 ... 4
• Ⅰ. 당해년도 추진 현황 ... 13
• 1. 사업화 추진 일정 ... 13
• 2. 당해년도 추진 실적 ... 14
• Ⅱ. 과제 수행결과(1차년도) ... 19
• 1. 포커스 파인더 모듈 개발 ... 19
• 2. 3차원 정밀 검사 모듈 개발 ... 26
• 3. 코윈디에스티 1차년도 수행 내용 ... 40
• 4. 지적재산권 추진 내용 ... 42
• 5. 고용 창출 효과 ... 43
• 6. 각 기관/기업별 추진 현황 ... 44
• 7. 시장 현황 및 사업화 추진 성과 ... 44
• Ⅲ. 결론 및 차년도 계획 ... 46
• 1. 사업화 수행 결과에 대한 자체평가 및 종합적 결론 ... 46
• 2. 2차년도 추진계획 ... 46
• 3. 마케팅 목표 ... 48
• Ⅳ. 사업비 사용현황 ... 50
• Ⅴ. 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리 현황 ... 53
• Ⅵ. 기업 재무건전성 현황 ... 54
• 끝페이지 ... 56