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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)이피웍스 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-04 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201500012138 |
과제고유번호 | 1425066703 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2015-07-25 |
키워드 | 인터포우져.실리콘 재생.백그라인딩.교반.선별.LED.TSV. |
□ 개발목표
계획
실리콘 재처리 시스템의 개발
기판 제작 시스템 개발
LED용 실리콘 인터포우져 개발
인터포우져 패키지의 신뢰성 평가
실적
실리콘 재처리 시스템의 개발 완료
기판 제작 완료
LED용 실리콘 인터포우져 개발 완료
개발 제품의 신뢰성 평가 완료
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 실리콘 순도 : 계획(4N %), 실적(순도 99.9985%, 4N 달성)
2. 중금속 오염도 : 계획(<50 ppm), 실적10ppm, 세라믹 기술원 ICP-
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