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NTIS 바로가기주관연구기관 | 이케이테크놀러지(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201500012318 |
과제고유번호 | 1425066832 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2015-08-01 |
키워드 | 유․무기물.습식세정.플라즈마.초음파세정기.USC. |
□ 개발목표
▪ 계 획
LCD 및 광학 필름 표면의 유∙무기 오염물을 동시에 처리하기 위하여 50m/sec의 풍속의 USC와 적정량의 플라즈마를 방출할 수 있는 소형화된 일체화 건식 세정기의 연구 개발
▪ 실 적
플라즈마 애싱을 이용한 광학필름용 Roll-to-Roll 건식초음파 세정기 개발 완료
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 제진(집진율) 파티클 사이즈 0.3 um 이상 : 계획 (98 %), 실적 (Film 위의 이물질을 플라즈마를 적용한 세정기를 통해 효과적으로 제거하고 제거된 이물
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