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연합인증

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[국가R&D연구보고서] 고효율 실리콘 태양전지용 나노박막공정 및 양산성 ALD 장비 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 (주)엔씨디
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2012-07
과제시작연도 2011
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
연구관리전문기관 한국산업기술평가관리원
Korea Evaluation Institute of Industrial Technology
등록번호 TRKO201500012423
과제고유번호 1425066904
사업명 중소기업기술혁신개발
DB 구축일자 2015-08-01
키워드 결정질 실리콘 태양전지.표면재결합.고효율.고양산성.산화물.

초록 ▼

□ 개발목표
계획
빠른 처리속도의 신개념 원자층 증착 공정 장비 개발과 고양산성, 고품질의 박막증착 기술 개발

실적
빠른 처리속도의 신개념 원자층 증착공정 장비 개발과 고양산성, 고품질의 박막증착 기술 개발

□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. Cycle Time : 계획(5 sec 이하), 실적(5 s)
2. Throughput @30nm : 계획(400 ea/hr), 실적(400 ea/hr)
3. Uniformity : 계획(1 % 이하), 실적(1 % 이하)
4. l

표/그림 (15)

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