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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)유니플라텍 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-11 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500012464 |
과제고유번호 | 1425069864 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-08-01 |
키워드 | 태양전지.Display 장치.투명전도막.플라즈마.진공증착. Polymer. |
□개발목표
계 획
◦플라즈마 스퍼터링 증착기술을 이용하여 저온에서 투명전도막이 코팅된 Polymer 필름 제조기술 개발
실 적
복합다층스퍼터박막코팅기술을 이용한AZO투명전도막이코팅된 POLYMER필름제조기술개발
□정량적 목표항목 및 달성도
1. 처리폭:계획(500mm 이상),실적(505mm제작구현)
2. 박막저항:계획(4×10-4Ω-㎝이하),실적(1.9×10-4Ω-㎝)
3. 투과도:계획(90% 이상),실적( 96%)
4. 처리속도:계획(10cm/min),실적(30cm/mim) <
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