초록 ▼

1. 대상기술의 개요
최근 주목받고 있는 청정 에너지 소재부품에 응용되는 산화물반도체나 반도체 세라믹의 전기적인 특성을 광범위한 온도범위에서 정확히 파악하기 위하여 산화, 환원가스 분위기 제어가 가능한 초고온용(1100K(827℃)) 홀효과 측정장비에 대한 필요성에 관하여 많은 연구자들의 요구가 증가하고 있다. 이를 위하여 새로운 개념의 Rod type PG-PBN Heater 설계 제작, 고온에서 샘플과 전극의 옴익 컨택 조건 확립, 샘플에 균일하고 정확한 온도 공급 시스템 확보, 그리고, 고온의 유입가스 (산소, 수소 등)

1. 대상기술의 개요
최근 주목받고 있는 청정 에너지 소재부품에 응용되는 산화물반도체나 반도체 세라믹의 전기적인 특성을 광범위한 온도범위에서 정확히 파악하기 위하여 산화, 환원가스 분위기 제어가 가능한 초고온용(1100K(827℃)) 홀효과 측정장비에 대한 필요성에 관하여 많은 연구자들의 요구가 증가하고 있다. 이를 위하여 새로운 개념의 Rod type PG-PBN Heater 설계 제작, 고온에서 샘플과 전극의 옴익 컨택 조건 확립, 샘플에 균일하고 정확한 온도 공급 시스템 확보, 그리고, 고온의 유입가스 (산소, 수소 등) 공급이 가능한 실험환경을 제공하여 반도체 신소재의 전기적 특성파악이 가능한 시스템을 구현하고자 한다. 이를 위하여
가. 1000도의 고온인가가 가능한 In-situ Hall coefficient Measurement Furnace
세라믹과 같은 절연체 및 산화물초전도체에 고온을 인가하여 소자의 전기전도를 활성화시켜 캐리어의 이동도를 증가시키는 방법을 구현하기 위해서는 1100K(827℃) 이상의 고온이 공급되는 시스템을 구현하여야 한다.