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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에이씨에스 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-07 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201500013103 |
과제고유번호 | 1425079577 |
사업명 | 기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-08-01 |
키워드 | 투명전극.스퍼터.대용량.플라즈마.ITO.Damage-free. |
□개발목표
계 획
(1) 대면적 플라즈마 장치 개발
- 직사각형 구조 스퍼터 gun 개발 (410×100×10mm3)
- Pulsed DC 및 RF power인가모듈 개발
- 스퍼터 시스템 제작 및 Demo
2) 대용량 웨이퍼 처리를 위한 웨이퍼 트레이 개발
- dual sputter gun 및 양면 로딩트레이 개발
- 2인치 : 106매, 4인치 : 28매,6인치 : 10매, 8인치 : 6매
(3) ITO 박막 균일도 확보
- ITO 두께 균일도 : 5% 이
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