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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기초과학지원연구원 Korea Basic Science Institute |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-08 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500013418 |
과제고유번호 | 1425080441 |
사업명 | 연구장비활용기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-08-01 |
키워드 | 트리메틸갈륨.트리메틸인듐.연속시스템.정제.재이용. |
□ 개발목표
계 획:
1. TMGa Precursor 잔류량 회수, 정제 및 분석을 위한 연속시스템 구축
2. TMIn Precursor 잔류량 회수, 정제 및 분석을 위한 연속시스템 구축
실 적:
최적의 연속 시스템을 구축함
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 연속시스템
계획 : 100
실적 : 구축완료
2. 순도
계획 : 5N
실적 : 8N
3. 회수율
계획 : >99.9
실적 : >9
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