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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기초과학지원연구원 Korea Basic Science Institute |
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보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-01 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
과제관리전문기관 | 한국기초과학지원연구원 Korea Basic Science Institute |
등록번호 | TRKO201500013539 |
과제고유번호 | 1711019761 |
사업명 | 한국기초과학지원연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2015-08-15 |
키워드 | in situ 분석.나노표면분석.차세대 소재 물성.초고진공.저차원 물질.in situ analysis.nano surface analysis.physical property.UHV.low-dimensional materials. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201500013539 |
○ 연구목표
다수의 유기 나노 소자 분석 및 공정장비들을 초진공 상태에서 일체형으로 통합한 in situ 융복합 시스템 설계·개발, 기능성 유·무기물질 물성분석 및 나노 전자재료 기초물성 평가시스템 구축
- 첨단 분석 기기 설치 및 각 분석기기 연동개발을 통한 종합물성분석 시스템 구축
- 샘플 이동 시스템 개발 및 박막 공정장치 연동 시스템 구축
- 나노 물성 첨단 분석기술 개발
○ 연구내용
녹색기술혁명의 핵심기술 개발 난제 해결 및 신규 분석기술 확보를 목표로, 차세대 소자/소재용 in
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