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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)울텍 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201500016805 |
과제고유번호 | 1425072603 |
사업명 | 기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-24 |
키워드 | 태양전지.반응성이온식각장치.텍스쳐링.플라즈마식각.건식식각.Solar cell.Reactive Ion Etching system.Texturing.Plasma etching.Dry etching. |
□개발목표
계 획
◦ 실리콘 태양전지 제조용 texturing공정을 위한 RIE system의 개발
◦ RIE 공정을 이용한 texturing 공정기술 개발
◦ 태양전지 후속 공정 및 성능 평가
실 적
◦ 실리콘 태양전지 제조용 texturing 공정을 위한 RIE system의 개발 완료
◦ RIE 공정을 이용한 texturing공정 기술 개발 완료
◦ 태양전지 후속 공정 및 성능평가 완료
□정량적 목표항목 및 달성도
계획(1. 생산량 -10 MW ),실적(1. 생산량- 10
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